開示情報 > World's first, Low temperature PZT sputtering technology in mass production scale developed for piezoelectric MEMS device integrated on CMOS.

World's first, Low temperature PZT sputtering technology in mass production scale developed for piezoelectric MEMS device integrated on CMOS.

開示者	【67280】株式会社　アルバック
文書名	World's first, Low temperature PZT sputtering technology in mass production scale developed for piezoelectric MEMS device integrated on CMOS.
PDF/XBRL	[別ウインドウでPDFを開く]
開示日時	2015/03/25	チャネル/カテゴリ	東京証券取引所 /その他
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