開示情報 > 世界初*、CMOSへ搭載可能な圧電MEMSデバイス向け量産用低温PZTスパッタリング技術を開発

世界初*、CMOSへ搭載可能な圧電MEMSデバイス向け量産用低温PZTスパッタリング技術を開発

開示者	【67280】株式会社　アルバック
文書名	世界初*、CMOSへ搭載可能な圧電MEMSデバイス向け量産用低温PZTスパッタリング技術を開発
PDF/XBRL	[別ウインドウでPDFを開く]
開示日時	2015/03/25	チャネル/カテゴリ	東京証券取引所 /PR情報
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