開示情報 > 研究開発用複合スパッタリング装置「S-QAMシリーズ」開発のお知らせ

研究開発用複合スパッタリング装置「S-QAMシリーズ」開発のお知らせ

開示者	【67280】株式会社　アルバック
文書名	研究開発用複合スパッタリング装置「S-QAMシリーズ」開発のお知らせ
PDF/XBRL	[別ウインドウでPDFを開く]
開示日時	2017/03/15	チャネル/カテゴリ	東京証券取引所 /PR情報
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