開示情報 > 次世代半導体の微細回路形成を実現するEUV露光機用ペリクルの要素技術を確立

次世代半導体の微細回路形成を実現するEUV露光機用ペリクルの要素技術を確立

開示者	【79660】リンテック株式会社
文書名	次世代半導体の微細回路形成を実現するEUV露光機用ペリクルの要素技術を確立
PDF/XBRL	[別ウインドウでPDFを開く]
開示日時	2023/12/12	チャネル/カテゴリ	東京証券取引所 /PR情報
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