世界初*、CMOSへ搭載可能な圧電MEMSデバイス向け量産用低温PZTスパッタリング技術を開発
共有| 開示者 | アルバック（6728） | ||
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| 開示日時 | 2015/03/25 | チャネル/カテゴリ | 東京証券取引所 / PR情報 |
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